ভ্যাকুয়াম চক

আবেদন:: 

ওয়েফার এবং ইনগোটগুলির সুনির্দিষ্ট শোষণ এবং দৃ firm ় স্থিরকরণের জন্য একটি উচ্চ দক্ষতার ভ্যাকুয়াম চক তৈরি করেছে। এটি ভাল - সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন, ওয়েফার কাটিয়া, নির্ভুলতা প্রক্রিয়াজাতকরণ, উচ্চ - তাপমাত্রা এপিট্যাক্সি, এচিং এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন সহ পরিস্থিতির জন্য উপযুক্ত।

মূল পরামিতি:

● সামঞ্জস্যযোগ্য পোরোসিটি (10 - 200μm পর্যন্ত)।
Atting আল্ট্রা সহ্য করতে সক্ষম - উচ্চ তাপমাত্রা (≤1600 ° C অবধি) এবং দুর্দান্ত তাপ শক প্রতিরোধের দেখায়।
● শোষণ ভ্যাকুয়াম: স্ট্যান্ডার্ডটি - 90 কেপিএ (100 কেপিএ পৌঁছানোর জন্য কাস্টমাইজযোগ্য)।

● সাকশন কাপের মাত্রা: 4/6/8/12 - ইঞ্চি ওয়েফারগুলিকে সমর্থন করতে পারে এবং নির্দিষ্ট প্রয়োজন অনুসারে ইনগোটের আকারটি তৈরি করা যেতে পারে।

Ⅰ। বর্ণনা

Veteksemon সিরামিক ভ্যাকুয়াম চক ছিদ্রযুক্ত সিরামিক এবং একটি ধাতব বাইরের রিং এর সম্মিলিত কাঠামো ব্যবহার করে। এয়ার চ্যানেল এবং ছিদ্রগুলির ব্যক্তিগতকৃত নকশার মাধ্যমে এটি শোষণ শক্তি এবং উচ্চ স্থায়িত্বের একটি এমনকি বিতরণ উপলব্ধি করে। এই চক সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন, ওয়েফার কাটিয়া, নির্ভুলতা প্রক্রিয়াকরণ ইত্যাদির জন্য উপযুক্ত।

Ⅱ। মূল কাঠামো এবং উপাদান সুবিধা

মাল্টিলেয়ার যৌগিক বিন্যাস:

✔ পৃষ্ঠ স্তর: ছিদ্রযুক্ত সিরামিক দিয়ে তৈরি (আপনি ছিদ্রযুক্ত সিলিকন কার্বাইড বা ছিদ্রযুক্ত গ্রাফাইটের মধ্যে চয়ন করতে পারেন)। ছিদ্র ব্যাসটি সামঞ্জস্য করা যেতে পারে (10 - 200μm), যা গ্যারান্টি দেয় যে শোষণ শক্তি সমানভাবে ওয়েফারের পৃষ্ঠে স্থানান্তরিত হয়, এইভাবে স্থানীয় স্ট্রেস বিল্ড - আপ প্রতিরোধ করে।

✔ ম্যাট্রিক্স: কাঠামোগত সমর্থন এবং বায়ুচালিততার প্রস্তাব দেওয়ার জন্য একটি অত্যন্ত অনমনীয় ধাতব ফ্রেম (স্টেইনলেস স্টিল বা অ্যালুমিনিয়াম খাদ) সমন্বয়ে গঠিত।

✔ এয়ারওয়েজ এবং ছিদ্র: যথাযথভাবে মেশিনযুক্ত অভ্যন্তরীণ এয়ারওয়েজগুলি সমানভাবে ব্যবধানযুক্ত মাইক্রোপোরগুলির সাথে একটি নেটওয়ার্ক গঠন করে। এই সেটআপটি দ্রুত ভ্যাকুয়াম এক্সট্রাকশন (শোষণ শক্তি - 90kpa পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে) এবং তাত্ক্ষণিক প্রকাশকে সমর্থন করে।

Ⅲ । এমএ এর তুলনাটেরিয়াল বৈশিষ্ট্য

1। উপাদান বৈশিষ্ট্যের তুলনা

2। অ্যাপ্লিকেশন পরিস্থিতি এবং কেস

✔ সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রেটিও

এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি: এটি দৃ sic ়ভাবে উচ্চ তাপমাত্রায় সিক ওয়েফারগুলিকে সংশ্লেষ করতে পারে, ওয়েফারদের ওয়ার্পিং থেকে বাধা দেয় এবং দূষিত হতে পারে।

লিথোগ্রাফি এবং এচিং: এটি গ্রাফিক প্রান্তিককরণের যথার্থতা নিশ্চিত করে উচ্চ - গতি মুভিং প্ল্যাটফর্মগুলিতে (ত্বরণ ≤10g) যথাযথ অবস্থান সক্ষম করে।

✔ ইনগোট প্রসেসিং

কাটিয়া এবং নাকাল: এটি ভারী ইনগটস (যেমন নীলকান্তমণি এবং সিলিকন - কার্বাইড ইনগোটস) সংশ্লেষ করতে পারে, কম্পনের কারণে প্রান্ত ক্র্যাকিং হ্রাস করতে পারে।

✔ বৈজ্ঞানিক গবেষণা এবং বিশেষ প্রযুক্তি

উচ্চ - তাপমাত্রা অ্যানিলিং: ছিদ্রযুক্ত সিলিকন - কার্বাইড সাকশন কাপগুলি বিকৃতকরণ বা দূষণকে ভেন্টিং ছাড়াই 1600 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডে অবিচ্ছিন্নভাবে কাজ করতে পারে।

ভ্যাকুয়াম লেপ: একটি উচ্চ - বায়ু - আঁটসাঁট নকশা সহ, এটি পিভিডি/সিভিডি গহ্বরের পরিবেশের সাথে খাপ খাইয়ে নিতে পারে।

3 .. কাস্টমাইজড পরিষেবা

✔ আমরা আকার এবং লোডের জন্য কাস্টমাইজেশন অফার করি।

✔ স্টোমাটা এবং এয়ারওয়ে নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য অনুকূলিত করা যেতে পারে।

✔ এটি বিশেষ পরিবেশের সাথে খাপ খাইয়ে নেওয়া যেতে পারে।

Ⅳ। FAQ:

ভ্যাকুয়াম চকগুলি কীভাবে বহু-আকারের ওয়েফার সামঞ্জস্যতা অর্জন করে (উদাঃ 12/8/6 ")?

প্রশ্ন: একই সময়ে একটি একক চক কীভাবে 12 ইঞ্চি, 8 ইঞ্চি এবং 6 ইঞ্চি ওয়েফারের সাথে ফিট করে? শারীরিক পুনর্গঠন কি প্রয়োজনীয়?

ক:অভিযোজিত এয়ারওয়ে এবং স্টোমাটাল পার্টিশনের মাধ্যমে বহুমাত্রিক সামঞ্জস্যতা:

✔ গতিশীল স্টোমাটাল নিয়ন্ত্রণ: স্তন্যপায়ী পৃষ্ঠের স্টোমাটা একটি রিং অঞ্চলে বিতরণ করা হয় এবং বিভিন্ন অঞ্চলে বায়ু সার্কিট একটি বাহ্যিক ভালভ দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হয়।

উদাহরণস্বরূপ, 8 ইঞ্চি ওয়েফার শোষণ করার সময়, কেবল কেন্দ্রীয় অঞ্চলে ছিদ্রগুলি সক্ষম করা হয় এবং বাইরের ছিদ্রগুলি বন্ধ থাকে (শোষণ বলের ফুটো এড়াতে)।

✔ নমনীয় এয়ারওয়ে ডিজাইন:: পোর্ট নেটওয়ার্কে একটি মডুলার লেআউট রয়েছে যা ইউনিফর্ম শোষণ বলের কভারেজটি নিশ্চিত করতে বিভিন্ন আকারের ওয়েফারের প্রান্তের প্রোফাইলগুলির সাথে মেলে। এবং সুবিধাগুলি নিম্নলিখিত হিসাবে:

জিরো হার্ডওয়্যার রিপ্লেসমেন্ট: সফ্টওয়্যার বা গ্যাস ভালভ স্যুইচের মাধ্যমে সাকশন কাপটি অপসারণ বা প্রতিস্থাপনের দরকার নেই, বিভিন্ন আকারের সাথে খাপ খাইয়ে নেওয়া যেতে পারে।

ব্যয় সাশ্রয়: সরঞ্জাম সংস্কার ব্যয় এবং ডাউনটাইম হ্রাস করুন এবং উত্পাদন লাইনের নমনীয়তা বাড়ান।