Wafers উপর খাঁজ কি?

সিলিকন ওয়েফারইন্টিগ্রেটেড সার্কিট এবং সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের ভিত্তি। তাদের একটি আকর্ষণীয় বৈশিষ্ট্য রয়েছে - সমতল প্রান্ত বা পাশের ছোট খাঁজগুলি .এটি কোনও ত্রুটি নয়, তবে ইচ্ছাকৃতভাবে ডিজাইন করা কার্যকরী মার্কার।প্রকৃতপক্ষে, এই খাঁজটি সমগ্র উত্পাদন প্রক্রিয়া জুড়ে একটি দিকনির্দেশক রেফারেন্স এবং পরিচয় চিহ্নিতকারী হিসাবে কাজ করে।

প্রারম্ভিক দিনগুলিতে, ওয়েফারগুলি বেশিরভাগই মার্কার হিসাবে একটি "ফ্ল্যাট" ব্যবহার করত, যার অর্থ বৃত্তাকার প্রান্তে একটি ছোট সোজা অংশের স্থল। এই ফ্ল্যাটের অবস্থান এবং সংখ্যা ক্রিস্টাল ওরিয়েন্টেশন এবং ডোপিং ধরনের পার্থক্য করতে ব্যবহৃত হয়েছিল। ওয়েফারের আকার বৃদ্ধি এবং প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা উন্নত হওয়ার সাথে সাথে মূলধারার 200 মিমি এবং 300 মিমি ওয়েফারগুলি একটি ছোট আর্ক-আকৃতির খাঁজ ডিজাইনে মূলত প্রমিত হয়েছে। এই খাঁজের অবস্থানটি মান দ্বারা সংজ্ঞায়িত করা হয় এবং এটি একটি নির্দিষ্ট অভিযোজনে অবস্থিত, যা ওয়েফারের স্ফটিক অভিযোজন নির্দেশ করতে ব্যবহৃত হয় (উদাহরণস্বরূপ <100> বা <111>) এবং পরবর্তী সরঞ্জামগুলির জন্য একটি সাধারণ রেফারেন্স পয়েন্ট প্রদান করতে।

ওয়েফার খাঁজের কাজ কী? 

• প্রথমত, এটি ওয়েফার প্রান্তিককরণের জন্য একটি রেফারেন্স প্রদান করে। লিথোগ্রাফি, এচিং এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশনের মতো গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপগুলির জন্য একাধিক প্যাটার্ন স্তরগুলি স্ট্যাক করা প্রয়োজন। প্রতিটি স্তরের সমন্বয় ব্যবস্থা সামঞ্জস্যপূর্ণ না হলে, চূড়ান্ত ডিভাইসগুলি ভুলভাবে সংযোজন করা হবে এবং স্ক্র্যাপ করা হবে। খাঁজ অবস্থান সনাক্ত করে, সরঞ্জামগুলি দ্রুত একটি একীভূত সমন্বয় ব্যবস্থা স্থাপন করতে পারে এবং তারপরে সুনির্দিষ্ট ওভারলে অর্জন করতে প্রান্তিককরণ চিহ্ন ব্যবহার করতে পারে।
• দ্বিতীয়ত, এটি ওয়েফার তথ্য এনকোড করে। বিভিন্ন স্ফটিক অভিযোজন এবং বিভিন্ন ডোপিং প্রকারের (যেমন পি-টাইপ এবং এন-টাইপ) স্বতন্ত্র উপাদান বৈশিষ্ট্য এবং নকশা বিবেচনা রয়েছে। খাঁজ অভিযোজন, পিছনের দিকের চিহ্ন এবং অন্যান্য উপায়ের সাথে মিলিত, উত্পাদন লাইনকে স্বয়ংক্রিয় হ্যান্ডলিং এবং বাছাই করার সময় ওয়েফারগুলিকে দ্রুত সনাক্ত করতে দেয়, বিভিন্ন ধরণের পণ্যের মধ্যে মিক্স-আপ এড়িয়ে যায়।
• তৃতীয়ত, এটি স্বয়ংক্রিয় পরিচালনায় নিরাপত্তা নিশ্চিত করে। আধুনিক ফ্যাবগুলি রোবট অস্ত্র এবং অটোমেটেড মেটেরিয়াল হ্যান্ডলিং সিস্টেম (AMHS) এর ব্যাপক ব্যবহার করে। এই সিস্টেমগুলি ওয়েফারের সামনে/পেছন দিক এবং অভিযোজন নির্ধারণের জন্য খাঁজের উপর নির্ভর করে, ভুল লোডিং বা ফ্লিপিং প্রতিরোধ করে যা অন্যথায় ফলন ক্ষতির দিকে পরিচালিত করে।

ডিভাইস এবং প্রক্রিয়া প্রকৌশলীদের জন্য, একটি ওয়েফারের খাঁজটি তুচ্ছ মনে হতে পারে, তবে এটি ক্রিস্টাল টান, এপিটাক্সি এবং ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশন থেকে শুরু করে প্রি-প্যাকেজিং পরীক্ষা পর্যন্ত পুরো প্রক্রিয়া চেইনের মধ্য দিয়ে চলে। যখনই "দিক" জড়িত থাকে - ক্রিস্টাল ওরিয়েন্টেশন, লেআউট অ্যালাইনমেন্ট, স্ট্রেস ওরিয়েন্টেশন, বা এমনকি কিছু পাওয়ার ডিভাইসের গঠন নকশা - এই ছোট জ্যামিতিক মার্কারটি প্রায় সবসময়ই পটভূমিতে থাকে। একবার আপনি খাঁজের ভূমিকাটি বুঝতে পারলে, একটি ওয়েফার কীভাবে উত্পাদন লাইনের মধ্য দিয়ে "চলবে" এবং কীভাবে প্রতিটি প্রক্রিয়া পদক্ষেপ সিলিকনের এই টুকরোটির চারপাশে তার সমন্বয় ব্যবস্থা তৈরি করে তা অনুসরণ করা আরও সহজ হয়ে যায়।